射頻電源，TELEMARK高壓電源，TELEMARK膜厚儀電源維修

射頻電源常見故障及維修：

故障現象1：打開電源，電源指示燈不亮；

故障現象2：電源燈亮了，預熱燈不亮；

故障現象3：電源燈亮了，預熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）

故障現象4：電源燈亮了，預熱燈亮，輝光不亮:；

故障現象5：無功率輸出；

故障現象6：有功率輸出，調不大，或是調不到正常值。

故障現象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞

射頻電源維修、對光伏企業生產設備如：刻蝕設備所用的國產中科院及中國微電子所研究制造的SY型射頻功率源包括黑色面板和白色面板兩種，功率包括：1KW、1.5KW、2KW、10KW以及進口刻蝕設備射頻電源維修；PECVD所用的美國AE PEII 10K 和 AE PEII 5K等AE射頻電源維修；RF射頻電源維修。我們的維修具有成功、維修速度快，等優點