LINEAR MOTOR SERVO CONTROLLER檢修 axcelis ROTARY檢修

射頻檢修：AE電源維修，seren射頻檢修，spellman電源維修，glassan電源維修，IMS靜電發生器檢修，MDX、MDXII、Pinnacle、Diamond系列，電鍍電源檢修，電鍍工藝高壓電源檢修，離子注入射頻檢修，RE射頻檢修，PECVD射頻檢修，功率大的工業生產電源維修，UPS電源維修等各個行業工業級電源維修，射頻設備維護：離子注入，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等。

射頻檢修常見問題：

在替換完元器件后,通電前解決其有關元器件進行檢測,是否存在短路故障(如整流管、IGBT管、開關電源輸出一部分、電力電子器件輸出等);

針對設備沒有穩定工作和工作時斷時續,可查驗箱里主要電路的螺絲、接線端子排等是否牢固(在運輸過程中有有可能出現)、布線端空氣氧化等,老開關電源或使用環境惡劣的開關電源需要注意內部結構是不是積了許多塵土(可以用熱風槍吹掉);如箱里積有許多油漬且使用壽命較長,不能修補應報廢處理