外資高新技術企業類粵 Z 車牌的申請流程如下：

準備申請材料：

《外商投資企業設立（變更）備案回執》或相關投資企業批準證書，用于證明企業的外資投資背景和相關備案信息。

《企業法定代表人營業執照》及商戶登記文件，如香港的商業登記證、公司注冊證書等（根據企業所在地具體提交相應的登記文件）。

《國家高新技術企業證書》，這是申請的關鍵資質證明。

車輛登記文件，證明車輛的合法性及相關信息。

駕駛人的相關證件，如回鄉證、身份證、內地駕照等（如果是非永居身份，需擔任香港公司的董事或者股東）。若車輛所有人與投資者名稱不一致，還需提交證明兩者隸屬關系的材料。

網上申請3：

申請人登錄廣東省公安廳交通管理局政務服務網網上辦事大廳，填寫相關資料并提交審核。之后，審核結果會通過手機短信方式告知申請人。

現場提交材料：申請人按照手機短信通知時間到廣東省公安廳交通管理局辦證大廳提交材料，進行受理、拍照等步驟3。若申請人自愿選擇郵寄領證，則后續可不必到辦證大廳領取相關證件。

審核與審批：相關部門對申請材料進行審核與審批，這個過程一般需要一定時間，通常在 10 個工作日左右48。

驗車與購買保險：

申請人收到審核通過短信通知后，憑受理回執到中國檢驗有限公司汽車檢驗中心驗車。

購買內地機動車交通事故責任強制保險。

領取相關證件：

驗車通過 2 個工作日后，申請人交納牌證工本費，憑受理回執到廣東省公安廳交通管理局辦證大廳領取《粵港澳機動車往來及駕駛人駕車批準通知書》（批文卡）、機動車行駛證。

辦理香港相關手續：

申請人憑批文卡到香港運輸署過境服務分組申請領取《封閉道路通行許可證》（即禁區紙）。

申請人憑批文卡等相關材料到深圳海關隸屬皇崗海關辦理海關備案手續，取得海關核發的備案證明及車輛通關證件。

申請人憑批文卡、駕駛人出境入境證件等相關材料到深圳邊檢總站皇崗邊檢站辦理邊檢備案手續（首 次備案駕駛人需本人攜帶相關材料到現場辦理）。

領取內地機動車號牌并固封：備案駕駛人駕車經獲準通行的深港口岸通關，到深圳市公安局交通警察支隊文錦渡車管所領取內地機動車號牌并固封3。

領取車卡和司機卡：備案駕駛人駕車到深圳海關隸屬皇崗海關驗車，憑批文卡等相關材料，申請領取安裝用于口岸通關的車輛電子識別標簽（即車卡）和駕駛人電子識別標簽（即司機卡）。